設備情報

当社ではお客様のニーズに合わせた製品の生産を行う為、
大小多数の設備を完備しており、試作対応から量産対応までお客様のニーズに合わせた生産体制を整えております。

洗浄工程では、超音波洗浄装置を多数完備しております。
量産や大型基板にも対応致します。

蒸着工程では、IAD(イオンアシスト)、IP(イオンプレーティング)、SP(スパッタリング)など高品質な各種アシスト膜にてご案内致します。

成膜設備

真空蒸着装置

各種蒸着設備を保有しております。
掲載の株式会社オプトラン社製OTFCシリーズは、
エッジフィルタ、帯域フィルタ、ARコーティング等のシフトレス光学フィルタを安定生産するためのイオンビームアシスト蒸着(IAD)式高性能光学薄膜形成装置で、単層蒸着から超多層膜までの積層を行える蒸着設備です。

低真空スパッタ装置

島津産機システムズ株式会社製の低真空スパッタ装置です。
立体形状基板(ワーク)に対しても良好な付き回りで均一な成膜が可能なスパッタリング成膜設備で、難めっき材料に対しても高い密着強度が得られ、低真空領域での低温プロセスで、ガラス基板・樹脂基材へ低応力の薄膜を成膜します。

測定設備

分光光度計(U4100)

積分球面内に紫外域で反射率の高いフロロカーボンをコーティング材料に採用している分光光度器です。
測定可能波長は175nm~3,300nmであり、新たな高速A/D変換技術を応用したノイズレベルを低減する信号処理技術が使われており、これまで困難だった短時間に変化する測定ノイズの低減が可能になっております。

分光光度計(U4150)

紫外可視域~近赤外域に渡る広範囲の測定波長に対応するため、複数の検知器を積分球に搭載しています。U4100の後継機であるU4150は、信号処理技術などにより検出器切換え時に生じる測光値の差(切換え段差)を最小限に抑えています。
固体試料の正反射を測定する場合、入射角が重要となります。
集光光束の場合、レンズの焦点距離などによって入射角は一様ではありません。
これでは、誘電体多層膜やプリズムなどの光学薄膜設計をした際のシュミレーション値と、実際の測定値との差異が生じる要因となりかねません。
平行光束の場合、入射角は試料に対して一様となり、精度の高い正反射測定が可能となります。
その他、平行光束は拡散性の評価(ヘーズ)、レンズの透過率測定にも有効です。

干渉計

レンズや金属の表面形状をナノオーダーで計測し、解析できます。
サンプルの材質によらず、研磨面(鏡面)であればほとんど非接触観測が可能です。
干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃っている高機能・高性能計測システムです。
高精度平面板(ガラス・金属・セラミックなど)の平面度測定、光学レンズ、鋼球、プラレンズの面精度測定など、さまざまな用途に対応します。G102Sは裏面反射の影響を除去する新方式を採用。厚さ0.1㎜以上の平行平面ガラスの測定が可能です。

蛍光X線膜厚計

X線検出機にシリコンドリフト検出器を採用した高性能蛍光X線膜厚測定器で、非常に薄い皮膜の測定や微量分析ができます。

PSI

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器を使用した測定システムです。測定のポイントを任意で設定、自動測定を行える設備で、一度に複数枚の測定が可能なほか、同一製品の面内に複数のポイントを設定することにより、製品面内の膜厚(特性)分布確認を行えます。

Cary

高い効率、精度、柔軟性を備えた、Agilent製Cary分光光度計は、現在および将来の分析に対応できるように設計された測定機です。
信頼性の高い測定結果を得ることができるとともに、光学濃度の測定も可能な設備となっております。

DMスコープ

2点間、角度、直径、平行線、面積など、あらゆる計測をリアルタイムに画面上で観察・撮影を行うことができます。
また、自動車業界向けの洗浄度検査規格であるISO16232とVDA19に対応したコンタミ計測が可能であり、マイクロスコープで撮影した高解像度で被写界深度の深い画像から解析できるため、凸凹のあるワークでも高精度の計測ができます。

画像寸法測定機

測定結果はすべて本体内部に自動保存され、保存した結果から、平均、σ、3σ、6σ、Cpk等、主要な統計値を自動で計算することができます。
トレンドグラフ、ヒストグラム機能も有しており、測定したデータの傾向等の確認ができます。

3D形状測定機

3D形状測定機として粗さ計・輪郭形状測定機の計測をそのまま非接触で測定可能。
触針式では測りきれない面全体の形状を0.1µmの分解能で捉える事が出来る3次元形状測定機です。
サンプルを回転させながら測定をおこなうことで、死角をなくしてありのままの断面形状を再現することも可能です。
今までは切断しなければ正確に測ることができなかった部分の肉厚や奥まった寸法が測れ、HDRスキャンアルゴリズムによりスキャン能力が進化したことで、光学式が苦手だった光沢がある対象物や光の反射が弱い素材の対象物も瞬時に最適な条件を判断し、正確に形状を測定することが可能です。

 

評価試験設備

恒温恒湿試験機

設定温度範囲 : 室温~85℃
設定湿度範囲 : 40~95%
昇温時間 : -
降温時間 : -
試験室内積 : 500×600×390㎜

ヒートサイクル試験機

設定温度範囲 : -60~150℃
設定湿度範囲 : -
昇温時間 : -40 ⇒ 100℃,10min
降温時間 : 80 ⇒ -40℃,30min
試験室内積 : 380×100×320㎜

高温試験機

設定温度範囲 : 室温~300℃
設定湿度範囲 : -
昇温時間 : 室温 ⇒ 300℃,1h
降温時間 : -
試験室内積 : 360×240×330㎜

低温恒湿試験機

設定温度範囲 : -25~130℃
設定湿度範囲 : 20~98%
昇温時間 : 20 ⇒ 130℃ , 90min
降温時間 : 20 ⇒ -25℃ , 70min
試験室内積 : 500×400×600㎜

測定・評価について

測定・評価については、弊社の製品以外に対する実施も可能でございますので、ご希望のお客様はお気軽にお問合せください。